Nell'industria dei semiconduttori, il vetro di silice fusa viene frequentemente utilizzato ad alte temperature comprese tra 1000℃ e 1300℃. In tali condizioni, si verifica la devetrificazione a causa dell'adesione di impurità. Le parti devetrificate sono le aree cristallizzate della silice fusa e il punto di trasformazione della cristallizzazione è 275℃. Quando il vetro di silice fusa viene raffreddato da alte temperature a questa temperatura di trasformazione, lo strato devetrificato cristallizzato sulla superficie ha un coefficiente di dilatazione termica diverso dalla fase α ad alta temperatura e dalla fase β a bassa temperatura della silice fusa stessa. Ciò si traduce in un aspetto opaco e sfaldato durante il raffreddamento rapido; nei casi più gravi, possono verificarsi crepe.
Per prolungare la durata dei prodotti in silice fusa, è fondamentale prevenire le cause della devetrificazione. I principali contaminanti che portano alla devetrificazione includono metalli alcalini, metalli alcalino-terrosi, sudore, saliva, macchie di olio, polvere, ecc. Anche un livello di contaminazione di 0,1 mg/cm² può causare un aumento di dieci o addirittura cento volte della devetrificazione. Pertanto, per impedire a questi contaminanti di aderire alla superficie della silice fusa, si dovrebbe evitare la manipolazione diretta a mani nude. Inoltre, è necessario eseguire una pulizia accurata prima delle operazioni ad alta temperatura per garantire la pulizia della superficie della silice fusa.
La pulizia generale della silice fusa segue una procedura stabilita: in primo luogo, sciacquare la superficie con acqua pura, quindi immergerla in un bagno acido per un periodo di tempo specifico, rimuoverla, risciacquare di nuovo con acqua pura e infine asciugarla all'aria. I tipi di soluzioni acide sono i seguenti:
| Categoria/Articolo | Concentrazione | Tempo |
|---|---|---|
| Acido fluoridrico (HF) | 47,0% ~ 52,0% | 1 ~ 2 minuti |
| Acido fluoridrico (HF) | 5,0% ~ 10% | 10 ~ 15 minuti |
| Acido fluoridrico + Acido nitrico | 50% + 65% | 10 ~ 15 minuti |
| Acido fluoridrico + Acido solforico | 50% + 65% | 10 ~ 15 minuti |