La struttura del vetro di silice fusa è rilassata, consentendo la diffusione di ioni di determinati gas attraverso la sua rete ad alte temperature, tra cui la diffusione degli ioni sodio è relativamente veloce.
Questa proprietà del vetro di silice fusa è di grande importanza per gli utilizzatori. Ad esempio, quando il vetro di silice fusa viene utilizzato come contenitori ad alta temperatura o tubi di diffusione nell'industria dei semiconduttori, i materiali semiconduttori richiedono una purezza estremamente elevata. Pertanto, i materiali refrattari utilizzati come rivestimenti di forni che entrano in contatto con il vetro di silice fusa devono subire un trattamento di pulizia e ad alta temperatura in anticipo per rimuovere le impurità alcaline come potassio e sodio prima di essere collocati all'interno del vetro di silice fusa per l'uso.
A temperatura ambiente, il vetro di silice fusa può essere considerato impermeabile ai gas. Anche ad alte temperature (ad esempio, 700℃), le costanti di permeabilità di determinati gas sono molto piccole. Quindi, può essere applicato in apparecchiature ad alta temperatura e alto vuoto.