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Substrato di quarzo ad alta purezza 180×15×5 mm con resistenza alle alte temperature
| Materiale | Silice fusa ad elevata purezza (SiO2 > 99,99%) | Dimensioni | 180 mm x 15 mm x 5 mm (L x L x P) |
|---|---|---|---|
| Temperatura operativa massima | 1100°C | Finitura superficiale | Rettificato e lucidato di precisione |
| Coefficiente di espansione termica | 5,5 x 10^-7 /°C (CTE ultrabasso) | Resistenza chimica | Acido fluoridrico, acidi forti e alcali |
| Trasmittanza | > 92% (gamma UV-visibile) | Impurità metallica | Ultra-bassa, nessuna precipitazione |
| Applicazione | Rivestimento di wafer semiconduttori, substrato di pellicola ottica, dispositivo di fissaggio per ce | ||
| Evidenziare | Sottostrato di quarzo di alta purezza,sottostrato di quarzo da 180×15×5 mm,sottostrato di quarzo resistente ad alte temperature |
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Panoramica del prodotto
ILSubstrato di quarzo di silice fusa di elevata purezzaè una lastra di vetro al quarzo molata di precisione (180 mm x 15 mm x 5 mm) progettata per semiconduttori di fascia alta, rivestimenti ottici, applicazioni fotovoltaiche e di laboratorio. Realizzato con silice fusa di prima qualità (SiO2 > 99,99%), questo substrato offre eccezionale stabilità termica, inerzia chimica e chiarezza ottica, rendendolo la scelta preferita per ambienti di produzione esigenti ad alta precisione.
Caratteristiche principali
- Purezza ultraelevata:SiO2 > 99,99% con contenuto di impurità metalliche estremamente basso. L'assenza di precipitazione ionica garantisce un'elaborazione priva di contaminazioni per applicazioni ottiche e di semiconduttori
- Resistenza alla temperatura 1100°C:Resiste al calore estremo senza deformazioni o degradazioni, superando di gran lunga le alternative al vetro borosilicato
- HF e forte resistenza alla corrosione:Eccellente durabilità chimica contro acido fluoridrico, acidi forti e alcali: ideale per processi chimici aggressivi a umido
- Espansione termica estremamente bassa:Il CTE di 5,5 x 10^-7 /°C previene fessurazioni e deformazioni in caso di rapidi cicli di temperatura
- Alta trasmissione:> 92% di trasmissione dallo spettro UV a quello visibile, perfetto per applicazioni di rivestimento ottico e fotolitografia
- Finitura superficiale di precisione:Le superfici rettificate e lucidate di precisione garantiscono planarità e deposizione uniforme del rivestimento
Applicazioni
| Industria | Applicazione |
|---|---|
| Semiconduttori e microelettronica | Supporto per imballaggio wafer, substrato litografico, base di rivestimento ad alta temperatura, piattaforma di test di invecchiamento dei componenti elettronici |
| Ottica e fotoelettrica | Substrato di rivestimento ottico a film sottile, base della piastra filtrante, dispositivo di rivestimento sotto vuoto, banco di prova dello spettro |
| Fotovoltaico e nuova energia | Dispositivo di rivestimento per celle solari, diffusione ad alta temperatura e supporto di processo PECVD, substrato antideformazione |
| Laboratorio e chimica fine | Piattaforma di sinterizzazione ad alta temperatura, banco di prova della corrosione HF, forte vettore di reazione chimica |
| Strumento di precisione | Substrato di riferimento dello spettrometro, piastra da banco per apparecchiature di ispezione ottica |
Vantaggi competitivi
rispetto al vetro borosilicato:Resiste a temperature superiori a 1100°C rispetto al limite di ~500°C; resistenza superiore agli acidi HF; L'espansione termica 10 volte inferiore previene le fessurazioni; il bassissimo livello di impurità metalliche elimina il rischio di contaminazione del processo
rispetto alla ceramica di allumina:Elevata trasparenza ottica per applicazioni UV-visibili; finitura superficiale più liscia per un rivestimento uniforme; lavorazione di precisione più leggera e più semplice
Specifiche
| Parametro | Valore |
|---|---|
| Materiale | Silice fusa ad elevata purezza (SiO2 > 99,99%) |
| Dimensioni | 180 mm (L) x 15 mm (L) x 5 mm (P) |
| Temperatura operativa massima | 1100°C |
| CTE | 5,5 x 10^-7 /°C |
| Trasmittanza | > 92% (UV-visibile) |
| Resistenza chimica | HF, acidi forti e alcali |
| Finitura superficiale | Rettificato e lucidato di precisione |
| Impurità metallica | Ultra-bassa, nessuna precipitazione |

