Piastra in quarzo ispessito da 9 pollici per calibrazione di wafer ad alta temperatura

La piastra di vetro di calibrazione a 9 pollici è un substrato di riferimento ottico di precisione progettato per l'ispezione delle dimensioni, dell'aspetto e della piattezza dei wafer semiconduttori.Fabbricazione a partire da vetri di silice fuso ad alta trasmissibilità o di vetri di borosilicato alcalino, questa piastra di taratura corrisponde alla dimensione standard del wafer da 9 pollici, offrendo una struttura ispessita personalizzata che resiste alla piegatura e alla deformazione durante cicli di ispezione ripetuti.Le superfici lucide a doppia parete ultra-precisione offrono una piattazza e un parallelo ottico, che fornisce una linea di base geometrica stabile per i sistemi di ispezione ottica automatizzata.la targa garantisce che i dati di misurazione rimangano coerenti e ripetibili in lunghe serie di produzione, che lo rende uno strumento essenziale per la fabbricazione di wafer, l'allineamento della litografia e le applicazioni di misurazione ottica delle immagini.

• Struttura ispessita per la rigidità:La piastra rinforzata evita la deformazione e la deformazione durante l'ispezione, fornendo dati di taratura stabili e ripetibili.
• con una lunghezza massima di 20 mm o più, ma non superiore a 50 mmLe superfici sono libere da graffi, buche, bolle e pietre, con piattezza e parallelismo ottico.
• Alta trasmissibilità uniforme da UV alla luce visibile:Il substrato ad alta purezza riduce al minimo le interferenze della luce sfuggente ed è pienamente compatibile con le apparecchiature di ispezione ottica automatiche AOI.
• Basso coefficiente di espansione termica:La minima deformazione sotto variazione di temperatura mantiene stabile la geometria di riferimento e il materiale resiste alle soluzioni di pulizia acide e alcaline.
• con una lunghezza massima di 20 mm o più, ma non superiore a:I bordi senza frantumi proteggono i wafer e le lenti da graffi durante la movimentazione e il carico.

La piastra di vetro di calibrazione di wafer di 9 pollici ingrossata funge da riferimento ottico versatile negli ambienti di produzione e ispezione dei semiconduttori.È ampiamente utilizzato per calibrazione dimensione wafer di silicio 9 pollici, che fornisce uno standard geometrico affidabile che verifica l'accuratezza degli strumenti di misura.la superficie di grado ottico funge da riferimento affidabile per confrontare l'uniformità della superficie e rilevare le deviazioniLa piastra funge anche da supporto standard per gli strumenti di misurazione delle immagini ottiche, supportando un posizionamento coerente durante l'analisi dimensionale.Funziona come una piastra di taratura di allineamento che aiuta a mantenere una registrazione precisa del modelloInoltre, la piastra è adottata come base di fissaggio per l'ispezione dei difetti della superficie del wafer, offrendo una piattaforma piatta, stabile e priva di contaminazione per sistemi automatici di rilevamento dei difetti.

• di larghezza superiore a 50 mmLa struttura rinforzata impedisce lo spostamento di riferimento durante l'ispezione di massa a lungo termine, mantenendo i risultati di taratura affidabili turno dopo turno.
• Materiale di alta purezza senza precipitazione:Il substrato pulito non rilascia contaminanti, proteggendo i wafer dall'inquinamento durante l'ispezione di contatto.
• Disponibile una personalizzazione completa:Lo spessore, il rivestimento ottico, la marcatura della scala di allineamento, lo slot e la perforazione possono essere adattati alle esigenze del cliente.
• Alta consistenza in singolo pezzo:Un rigoroso controllo di fabbricazione garantisce che le piastre siano intercambiabili su più macchine di ispezione con prestazioni identiche.